[뉴스핌=임애신 기자] 로체시스템즈는 25일 웨이퍼들을 자동 정렬시켜 위치를 높임으로써 처리 속도를 향상시킬 수 있는 멀티 핑거 로봇 특허를 취득했다고 공시했다.
회사는 "이 특허는 반도체 이송장비에 적용될 예정"이라고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim]임애신 기자 (vancouver@newspim.com)
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