반도체장비 국산화 기여 공로
[서울= 뉴스핌] 박종서 기자= ㈜이큐테크플러스는 최근 경기벤처기업협회가 주관한 경기 우수벤처기업 표창 시상식에서 중소벤처기업부장관 표창을 받았다고 15일 밝혔다.
경기우수벤처기업 표창은 지역 경제 활성화를 위해 경기도 관내 벤처기업 중 기술·경영 등의 혁신 능력이 탁월해 대외 경쟁력이 우수하고 사회 공헌도가 높은 기업을 발굴해 포상하는 제도다.
이큐테크플러스는 세계 최초로 라디칼을 이용한 매엽식 증착장비 개발에 성공해 반도체 장비 국산화와 반도체 산업발전에 기여한 공로를 인정받았다,
이에 앞서 이큐테크플러스는 지난 5월 산업통상자원부로부터 라디칼 고밀도화 반응유닛에 의한 반도체 박막 증착기술로 NET (신기술 인증)을 받은바 있다.
이 기술은 고품질의 박막 생성을 가능하게 하는 획기적인 반도체 증착 기술로서 차세대 반도체 기술의 핵심인 미세화, 고적층 공정에서도 균일한 산화막을 확보할 수 있다.
김용원 이큐테크플러스 대표는 "전력반도체용 산화막 장비는 2023년 상반기 프로토타입 제작을 완료, 고객사 평가를 진행할 수 있을 것"이라며 "2025년 양산을 목표로 대대적인 투자를 진행, 글로벌 장비기업으로 도약하겠다"고 밝혔다.
김용원(가운데) 이큐테크플러스 대표가 최근 경기 우수벤처기업 표창 시상식에서 중소벤처기업부장관 표창을 받았다. [사진=이큐테크플러스] |
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