대형화되고 있는 LCD용 기판 등을 처리할 수 있는 진공처리장치의 샤워헤드에 관한 구조가 이 특허의 주요 내용이다.
회사 측은 "향후 생산성을 높이기 위해 당사 FPD장비에 적용할 것"이라고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim] 김민정 기자 (thesajah@newspim.com)
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