티씨케이는 9일 '세라믹 정전척 사업 관련, 에칭용 정전척 개발에 이어 CVD 정전척과 CVD용 세라믹 히터(Heater)까지 확대설'과 관련, "관련 기술은 개발단계"라고 밝혔다.
티씨케이 관계자는 "개발완료 시점은 확실하게 말하기 어렵다"며 "일부 개발이 완료된 것도 있으나 공식적으로 말할 수 없다"고 덧붙였다.
티씨케이는 9일 '세라믹 정전척 사업 관련, 에칭용 정전척 개발에 이어 CVD 정전척과 CVD용 세라믹 히터(Heater)까지 확대설'과 관련, "관련 기술은 개발단계"라고 밝혔다.
티씨케이 관계자는 "개발완료 시점은 확실하게 말하기 어렵다"며 "일부 개발이 완료된 것도 있으나 공식적으로 말할 수 없다"고 덧붙였다.
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