[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 이차전지·반도체 장비 전문기업 나인테크가 FO-PLP(팬아웃 패널 레벨 패키징) 및 유리기판용 장비 생산을 위한 기술 개발과 테스트를 완료했다고 3일 밝혔다. 관련 생산 설비 증설도 검토 예정이다.
나인테크는 지난 3년간 FO-PLP에 적용되는 모든 WET STATION 장비를 해외의 반도체회사와 글라스 코어기판 회사에 납품하며 관련 기술력을 쌓았다. 이번 개발한 장비는 기술적인 부분에서 열 팽창 계수의 변화에 따른 기판(Substrate)의 휨(Warpage) 현상을 핸들링 하는 부분과 기판 두께(Substrate Thickness)의 얇아짐에 대응하기 위한 기술이다.
나인테크는 관련 장비 개발 및 테스트를 마쳤으며, 유리관통전극(TGV) 공정의 WET PROCESS 설비 검증도 완료됐다. 회사는 앞으로 예상되는 장비 수요 증가에 대비해 올해부터 추가 증설 추진을 적극 검토하고 있다.
FO-PLP는 기존의 웨이퍼 레벨 패키징(WLP)보다 큰 패널을 사용해 더 많은 반도체 칩을 동시에 패키징 할 수 있는 장비다. 글래스 코어 기판(유리기판), 실리콘포토닉스와 더불어 차세대 반도체 기술로 주목받고 있다. FO-PLP 방식은 기존 WLP방식보다 생산성이 월등하여 효율이 높을 뿐만 아니라 원가 절감에도 효과적이지만 기판이 넓어 열로 인한 휨 형상이 발생하고 이로 인해 칩 배선 불량까지 이어질 수 있다는 단점이 있다.
또한, 유리기판은 기존 플라스틱 기판을대체함으로써 열에 대한 내구성을 높이고 회로 패턴의 오류를 줄여 수율을 높일 수 있으나, 유리관통전극(TGV) 공정의 고도화 및 인터포저(interposer)에 구리(Cu)를 채우는 기술 역시 추가 개발이 필요한 상황이다.
삼성전자와 TSMC 모두 인공지능(AI) 반도체를 만드는 FO-PLP 기술을 차기 로드맵으로 결정했으며, 이중 TSMC는 FO-PLP 방식과유리기판을 적용해 엔비디아 등 AI 반도체 패키징의 생산능력 한계와 비용 문제를 해결하려 하고 있다.
시장조사업체 DSCC에 따르면 FO-PLP 를 포함한 반도체 유리기판 시장은 올해 6억 달러(약 8800억원) 수준에서연평균 29% 성장해 오는 2030년엔 29억달러(약 4조2700억원)까지 오를 것을 전망하고 있다.
나인테크 관계자는 "급변하는반도체 시장에서 FO-PLP의 패키징 기술과 유리기판을 통한 반도체 패키징의 핵심 기술이 대두되고 있어 반도체 패키징 공정 선도기업 TSMC 역시 FO-PLP 방식과 유리기판을 통해 생산능력과 비용 문제를 해결하고 있다"라며 "FO-PLP 장비 납품 경험을 통해 추가 수주에 박차를 가하면서, 연구개발과 더불어 수요 증대에 대비한 생산시설 확충도 진행 중"이라고 밝혔다.
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