전체기사 최신뉴스 GAM 라씨로
KYD 디데이
산업 중기·벤처

속보

더보기

[뉴스핌 라씨로] 유니셈 "'극저온 칠러·플라즈마 스크러버' 퀄 테스트 진행 중"

기사입력 : 2024년08월10일 08:00

최종수정 : 2024년08월10일 08:00

'극저온 칠러 장비' -80°C 수준까지 대응 가능
'플라즈마 스크러버' 후공정 및 전공정 신규 적용 추진

이 기사는 8월 7일 오전 06시00분 AI가 분석하는 투자서비스 '뉴스핌 라씨로'에 먼저 출고됐습니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체·디스플레이 장비 전문업체 '유니셈'이 주요 고객사에 극저온 칠러 장비 및 플라즈마 스크러버 장비 퀄(품질) 테스트를 진행하고 있다. 최근 반도체 공정이 미세화되면서 극저온 식각장비 도입과 친환경 스크러버 수요가 증가해 수혜가 예상된다.

유니셈 관계자는 6일 "극저온 식각기가 최저온 -70~80°C 환경의 가동으로 칠러 장비도 이 온도대역인 -80°C 수준까지 대응이 필요하다. 주요 고객사로 관련 장비 퀄 테스트가 진행 중으로 연내 테스트는 마무리 될 것으로 보고 있다"며 "현재 낸드 업황이 더디게 올려가고 있기에 올해 테스트를 잘 마무리 한 후, 내년에 관련 성과가 나오길 기대하고 있다"고 말했다.

칠러는 공정 효율을 개선하는 온도조절 장비다. 공정 과정에서 웨이퍼 표면의 온도 범위가 커지면 생산 수율이 떨어져, 웨이퍼 표면의 온도를 일정하게 유지해 생산 수율을 높이는데 칠러가 사용된다. 최근 반도체가 미세화 되면서 식각공정에서 온도 대역을 미세하게 컨트롤할 수 있는 칠러 장비는 기존보다 높은 성능의 제품을 필요로 한다.

그동안 유니셈이 주력으로 공급하고 있는 칠러는 -30~40°C 수준의 온도를 구현해 왔다. 최근 낸드용 극저온 식각 공정이 -70~-80°C 수준의 온도 환경에서 더 정밀하고 빠른 식각을 구현하는 신규 장비들이 개발되면서 칠러도 -80°C 수준까지 온도를 낮출 수 있도록 요구되고 있다.

유니셈 로고. [로고=유니셈]

1988년 설립한 유니셈은 반도체·디스플레이 제조 공정상 발생되는 유해가스 정화 장치 스크러버와 챔버 및 웨이퍼의 온도조절 장치 칠러를 생산 및 판매한다. 국내 시장 점유율은 지난해 기준 스크러버가 30.5%, 칠러가 34%이상 차지했다. 주요 고객사는 삼성전자·SK하이닉스 등이 있다.

유니셈은 지난해 주요 고객사의 고대역폭메모리(HBM) 제조 공정에 필요한 실리콘관통전극(TSV) 라인에 필요한 플라즈마 스크러버 장비를 공급했다. HBM 제조 공정에 플라즈마 스크러버를 공급에 이어 올해는 전공정 신규 적용을 추진하며 퀄 테스트를 진행 중에 있다. 유니셈은 다양한 스크러버 라인업을 경쟁력으로 내세워 수주 확대에 전념할 계획이다.

유니셈 관계자는 "지난해 하반기 플라즈마 스크러버 장비가 TSV 후공정으로 들어갔다. 향후 전공정으로 진입을 위해 현재 주요 고객사로 퀄 테스트가 진행되고 있다"며 "칠러 장비처럼 이 테스트 역시 연내 마무리될 것으로 본다. 스크러버 및 칠러 장비 모두 좋은 테스트 결과를 받을 것을 기대하며 반도체 기업들의 본격적 투자가 진행 됐을 때, 긍정적 성과를 보여주기 위해 집중하고 있다"고 밝혔다.

스크러버는 반도체 제조공정에서 배출되는 유독가스와 각종 오염물질을 정화하는 세정장치다. 주로 삼성전자에서 사용해온 번 타입(Burn Type)과 SK하이닉스에서 주로 사용하는 방식의 플라즈마 타입(Plasma Type)이 있다. 번 타입은 LNG로 열을 내 유해가스를 태워 정화하는 방식이며, 플라즈마 타입은 전기로 플라즈마를 만들어 유해가스를 태워 정화하는 방식이다.

SK하이닉스는 지난 2013년 스크러버 타입을 기존 연소식에서 플라즈마로 변경했으며, 삼성전자도 지난해 HBM 공정에 플라즈마 스크러버를 처음으로 도입했다. 또한 삼성전자는 향후 있을 제4 평택캠퍼스(P4) 등 전공정 투자에서도 플라즈마 스크러버로의 전환을 추진할 것으로, 현재 이를 위한 장비 테스트가 P3에서 진행 중인 것으로 알려져 있다.

유니셈은 국내 스크러버 시장점유율 1위 업체로, 번타입·플라즈마 타입 외 스크러버부터 촉매를 활용한 웨트(Wet)타입 등 다양한 라인업 갖추고 있다. 반도체업계에서는 내년 D램을 중심으로 스크러버 수요 확대 예상을 통해 유니셈의 수혜를 기대하고 있다.

이재모 그로쓰리서치 연구원은 "유니셈은 모든 스크러버 타입을 할 수 있는 국내에서 유일한 기업으로, 유일하게 삼성전자와 SK 하이닉스 모두 납품하고 있다며 "ESG 경영으로 식각공정, 증착공정, 넘어서 후공정 등으로 스크러버 장비가 도입되는 공정이 확대되고 있어, 유니셈의 스크러버 매출이 늘어날 것으로 보인다"고 전했다.

nylee54@newspim.com

[뉴스핌 베스트 기사]

사진
재계 총수들, '트럼프 Jr' 만남 총출동 [서울=뉴스핌] 서영욱 남라다 김아영 조민교 기자 = 30일 미국 도널드 트럼프 대통령의 장남 도널드 트럼프 주니어를 만나려는 재계 인사들의 발길이 이어지고 있다. 미국 내 사업 현안을 전달하고 정책적 협력을 요청하기 위한 행보다. 트럼프 주니어와 재계 인사들의 면담은 트럼프 주니어가 묵고 있는 서울 강남구 조선팰리스 호텔의 한 구역에서 열렸다. 트럼프 주니어를 초청한 정용진 신세계그룹 회장의 집무실이 있는 건물이다. 건물 주변에 많은 취재진이 대기 중이지만, 철저한 보안으로 인해 오고 가는 재계 인사들을 마주치기 어려운 상황이다. 30일 오전 트럼프 주니어가 묵고 있는 서울 강남구의 한 호텔 인근 커피 매장에서 포착된 김동선 부사장(왼쪽)과 김동원 사장 [사진=독자 제공] 이날 오전 한화그룹의 김동관 부회장, 김동원 한화생명 사장, 김동선 한화갤러리아 부사장 3형제가 트럼프 주니어를 만난 재계 인사 중 가장 먼저 언론에 포착됐다. 한화솔루션은 미국 조지아주에 태양광 모듈 일관 생산단지 '솔라 허브' 프로젝트를 조성 중이다. 연간 8.4GW 규모의 이 시설은 약 130만 가구가 사용할 수 있는 전력을 생산할 수 있다. 현지 생산 비중을 70%까지 높여 미국의 자국 우선 조달 정책에 대응하고 관세 부담도 줄이겠다는 구상이다. 한화그룹은 방산·조선 사업에서도 미국과 밀접한 연관이 있다. 최근 호주의 방산 조선업체 오스탈 지분을 확보하며 미국 시장 공략에 나선 상황이다. 오스탈은 앨라배마와 샌디에이고에 조선소를 보유하고 있으며, 미 해군 소형 수상함 시장에서 점유율 1위를 기록 중이다. 롯데그룹도 트럼프 주니어와의 접촉에 나섰다. 신동빈 회장과 인도네시아 출장에 나섰던 장남 신유열 롯데지주 미래성장실장 부사장은 이날 오전 귀국해 트럼프 주니어를 만났다. 롯데는 미국 뉴욕 시러큐스에 보유한 바이오 공장을 중심으로 CDMO(위탁개발생산) 사업을 본격화하고 있다. 최근에는 아시아 바이오기업과 항체약물접합체(ADC) 신약 임상 물질 생산 계약을 체결했으며, 이 공장에서 첫 양산이 이뤄질 예정이다. 미국 내 관세 정책 변화에 대응하기 위해 선제적 설비 확충과 고객사 확보에 나선 롯데는, 신 부사장을 통해 트럼프 주니어와 심도 있는 논의를 진행한 것으로 보인다. [서울=뉴스핌] 최지환 기자 = 도널드 트럼프 미국 대통령의 장남 트럼프 주니어가 29일 오후 서울 강서구 김포국제공항에 도착해 탑승기에서 내리고 있다. 2025.04.29 choipix16@newspim.com 이재현 CJ그룹 회장도 이날 트럼프 주니어와 비공개 개별 면담을 가졌다. CJ제일제당은 미국 중서부 사우스다코타주 수폴스에 북미 최대 규모의 아시안 식품 신공장을 짓고 있다. 총 7000억 원이 투입되는 이 공장은 2027년 완공을 목표로 하며, 미국 시장 내 K푸드 수출 거점으로 활용될 예정이다. 이 회장은 미국 내 식품 수출 시 애로사항과 관세 이슈를 전달한 것으로 전해졌다. 이 외 이해진 네이버 의장, 허용수 GS에너지 사장 등도 트럼프 주니어와 만난 것으로 알려졌다. 네이버는 이날 "인공지능(AI)과 테크, 글로벌 진출에 대한 의견을 나누고 상호 협력에 대한 긍정적인 이야기 나눴다"고 설명했다.   이날 오후에도 트럼프 주니어를 만나려는 재계 인사들의 발길이 이어질 전망이다. 이번 트럼프 주니어의 방한은 정용진 회장의 초청으로 이뤄졌다. 트럼프 미 행정부와의 소통 채널을 만들어달라는 재계 요청에 따른 것으로 알려졌다. 전날 김포비즈니스항공센터를 통해 입국한 트럼프 주니어는 곧장 정 회장 자택으로 이동해 만찬을 가진 것으로 알려졌다. 트럼프 주니어는 재계 면담이 끝나는 대로 이날 밤 출국할 예정이다. syu@newspim.com 2025-04-30 14:24
사진
'김문수·한동훈' 최종 승자는 누구 [서울=뉴스핌] 박서영 김가희기자 = 국민의힘 대통령선거 결선 진출자에 김문수·한동훈 후보가 이름을 올렸다. 반탄(탄핵반대)파 김 후보와 찬탄(탄핵찬성)파 한 후보가 2파전을 겨루게 된 가운데 최종 1인 자리를 놓고 치열한 공방이 펼쳐질 것으로 보인다. 국민의힘 대선 후보 경선 선거관리위원회는 29일 오후 3차 경선에 진출할 후보자 2명을 발표했다. 안철수·홍준표 후보는 탈락했다. [서울=뉴스핌] 윤창빈 기자 = 29일 서울 여의도 국민의힘 당사에서 열린 제21대 대통령 후보자 국민의힘 3차 경선 진출자 발표 행사에서 3차 경선에 진출한 김문수(가나다순) 후보와 한동훈 후보가 기념촬영을 하고 있다. 2025.04.29 pangbin@newspim.com 황우여 국민의힘 선거관리위원장은 경선 결과를 발표하며 "과반 득표자가 없어 3차 경선으로 이어지게 됐다"며 "우리 당과 대한민국의 미래를 위해 깊이 고민하시고 이번 투표에 참여해주신 존경하는 당원 여러분께 진심으로 감사하다"고 말했다. 2강 후보에 진입한 김 후보는 "한 후보와 같이 마지막 경선을 하게 된 것을 매우 감사하게 생각한다. 미래가 창창한 대한민국을 위해 한 후보께서 많은 역할 해주시길 기대한다"고 인사를 전했다. 한 후보는 "어려운 대선 상황에서 김 후보와 제가 생각은 조금 다르지만 2인 3각의 마음으로 하나의 후보로서 이재명 더불어민주당 대선 후보와 맞서야 한다"며 "남은 경선 과정에서 김 후보를 경쟁자가 아닌 동반자로 생각하고 함께 이재명과 싸워 이기는 한 팀이 되겠다"고 목소리를 높였다. 앞서 홍 후보는 경선 결과 발표 직전 한덕수 대통령 권한대행을 입당시켜, 3차 경선에 진출하는 2명의 후보와 '원샷 국민 경선'을 진행하자고 제안했다. 이에 대해 김 후보는 "그 부분은 조금 더 논의를 해봐야 한다"고 말을 아꼈다. 그는 경선 결과 발표 직후 기자들과 만나 "한 대행도 아직 출마선언을 하지 않았다. 지금 제가 답을 드리는 것 자체가 너무 앞서가는 것이고 당에서도 생각이 있을 것이기 때문에 차차 논의될 것으로 본다"고 즉답을 피했다. 한 후보는 한 대행을 포함한 '원샷 경선'이 공정성에 어긋난다고 강조했다. 그는 "나머지 (탈락한) 6명은 치열한 과정을 통해 여기까지 왔기 때문에 갑자기 (한 대행이) 들어와서 여기서 경선한다는 것은 현실적이지 않다"며 "우리는 전통이 있고 룰이 있는 정당"이라고 반대 의사를 내비쳤다. [서울=뉴스핌] 윤창빈 기자 = 29일 서울 여의도 국민의힘 당사에서 열린 제21대 대통령 후보자 국민의힘 3차 경선 진출자 발표 행사에서 진출에 실패한 안철수 후보가 소감을 밝히고 있다. 2025.04.29 pangbin@newspim.com 한편 이날 결선 문턱을 넘지 못한 안 후보는 "누가 최종 후보가 되든 이재명을 막고 정권교체 이루는 데 제 힘을 바치겠다. 우리 당의 승리가 국민 승리고 역사의 승리"라고 소회를 전했다. 홍 후보는 이날 결선 탈락을 끝으로 정계 은퇴를 선언했다. 홍 후보는 "정치인생을 오늘로서 졸업하게 되어 감사하다. 이제 시민으로, 자연인으로 돌아가서 좀 편하게 살도록 하겠다. 이번 대선에서 제 역할은 여기까지"라고 했다. 앞서 지난 27∼28일 진행된 국민의힘 2차 경선은 당원투표 50%, 국민 여론조사 50%의 룰이 적용됐다. 당원 투표엔 76만5773명 중 39만4명(50.93%)이 참여했고 국민 여론조사는 5개 기관에서 6000명(역선택 방지 적용)을 대상으로 이뤄졌다. 후보들의 순위와 득표율은 공개되지 않았다. 따라서 결선에 진출한 김 후보와 한 후보 중 누가 앞섰는지 알 수 없다. 이날 3차 경선에 진출한 김문수·한동훈 후보 2명은 오는 30일 양자 토론회를 진행한다. 국민의힘 선관위는 다음달 1∼2일 양일 동안 선거인단 투표(50%)·국민 여론조사(50%)를 거친 후 같은달 3일 전당대회에서 최종 1명을 선출할 계획이다. seo00@newspim.com 2025-04-29 15:44
안다쇼핑
Top으로 이동