[뉴스핌=정경환 기자] 로체시스템즈는 웨이퍼 식각 시스템 및 이를 이용한 웨이퍼 식각 공정 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허는 반도체 제조공정라인에 적용될 예정"이라고 덧붙였다.
[뉴스핌 Newspim] 정경환 기자 (hoan@newspim.com)
[뉴스핌=정경환 기자] 로체시스템즈는 웨이퍼 식각 시스템 및 이를 이용한 웨이퍼 식각 공정 특허권을 취득했다고 5일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허는 반도체 제조공정라인에 적용될 예정"이라고 덧붙였다.
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