[뉴스핌=유혜진 기자] 테스는 기판 처리 장치 관련 특허를 취득했다고 17일 공시했다.
회사 측은 “해당기술은 기판 처리 공정의 균일도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다”며 “제품경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim] 유혜진 기자 (beutyfuld@newspim.com)
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회사 측은 “해당기술은 기판 처리 공정의 균일도 및 신뢰도를 향상시킬 수 있는 효과를 얻을 수 있다”며 “제품경쟁력 강화에 활용할 계획”이라고 밝혔다.
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