엔엔피, 일방향 렌즈기술 적용한 신개념 ‘노광기’ 개발

기사입력 : 2012년08월30일 14:23

최종수정 : 1970년01월01일 09:00

[뉴스핌=장순환 기자] 표면처리 기술개발 업체 엔엔피(대표 황춘섭, www.nnptechno.com)가 특화된 렌즈기술을 적용한 신개념 노광기를 개발했다고 30일 밝혔다.

노광기는 포토리소그래피 기술을 적용한 기기로, 일정한 광(光)에 반응을 일으키는 재료로 만들어진 감광제와 미세한 패턴이 형성된 포토마스크에 광을 조사해 패턴형상을 만들어 내는 장비다.

미세회로를 형성하기 위해 기판에 감광제을 코팅한 후 포토 마스크를 진공으로 밀착해, 감광제가 광화학반응을 일으킬 수 있는 특정 파장영역(310∼400nm)의 빔을 일정시간 노출시켜 감광작용을 유도하는 것이다.

그 동안 선보였던 대부분의 노광기 제품은 반사경을 통해 확산광을 평행광으로 변환해 빛을 투여하는 면광원 방식의 평행광 노광기로, 다수의 반사경(고정밀 렌즈)으로 구성돼 있다. 다만 렌즈 가격 및 유지보수 비용 등이 아쉬웠다.

이번에 엔엔피에서 선보이는 노광기는 한국산업단지공단 ‘생산기술사업화 지원사업’을 통해 개발한 렌즈기술을 적용한 것으로, 다방향으로 입사되는 UV 산란광을 일방향 볼록렌즈의 집광력을 이용해 광파워를 한층 높여 미세한 패턴을 구현할 수 있는 점이 큰 특징이다. 렌즈부가 이동하면서 입사광을 나노 선광원으로 스캐닝하는 신개념 노광 기술을 선보이고 있다.

특히 자체 개발한 특화 렌즈를 이용해 점광원인 LDI(Laser Direct Imaging)와 비교하여 현상된 회로면이 매우 평활한 특징을 가진다. 이 렌즈는 볼록렌즈와 오목렌즈의 특징을 결합한 것으로, 최초의 UV 광이 렌즈부를 통과하면서 빛을 집광해 선광원의 평행광을 구현하게 된다.

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[뉴스핌] 장순환 기자 (circlejang@newspim.co.kr)

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6월 경상수지 최대 흑자 [서울=뉴스핌] 박가연 기자 = 지난 6월 우리나라의 경상수지가 전월에 이어 역대 최대 흑자를 기록했다. 반도체를 중심으로 한 정보기술(IT) 품목 수출 호조로 월간 상품수출이 처음으로 1000억달러를 넘어선 영향이다. [자료=한국은행] 한국은행이 6일 발표한 '2026년 6월 국제수지(잠정)'에 따르면 지난 6월 경상수지는 497억3000만달러 흑자로 집계됐다. 전월(386억1000만달러)에 이어 두 달 연속 월간 기준 역대 최대 기록을 갈아치웠다. 이에 따라 올해 상반기 누적 경상수지 흑자는 1910억1000만달러를 기록했다. 경상수지 흑자를 견인한 것은 상품수지다. 6월 상품수지는 478억9000만달러 흑자를 기록하며 전월에 이어 역대 최대를 다시 썼다. 국제수지 기준 상품수출은 1123억7000만달러로 전년 동월 대비 84.5% 증가하며 월간 기준 처음으로 1000억달러를 넘어섰다. 상품수입은 644억8000만달러로 38.6% 늘었다. 통관 기준으로는 반도체 수출이 전년 동월 대비 196.9% 급증했고 컴퓨터·주변기기(SSD)는 282.7% 증가했다. IT 품목 수출은 160.4% 늘었으며 비IT 품목도 ▲석유제품(47.5%) ▲화공품(18.6%) ▲철강제품(17.9%) ▲승용차(6.1%) 등을 중심으로 18.6% 증가했다. 통관 기준 수입은 ▲원자재(30.5%) ▲자본재(35.3%) ▲소비재(16.4%)가 모두 늘었다. 서비스수지는 12억9000만달러 적자를 기록해 전월(-10억9000만달러)보다 적자 폭이 확대됐다. 여행수지는 외국인 입국자 증가와 유류할증료 인상 등에 따른 출국자 감소로 4억4000만달러 흑자를 기록했지만 지식재산권사용료수지는 전월 흑자에서 4억4000만달러 적자로 전환됐다. 본원소득수지는 배당소득을 중심으로 32억7000만달러 흑자를 기록해 전월(21억7000만달러)보다 흑자 폭이 확대됐다. 배당소득수지는 배당수입이 늘어난 데다 전월 분기배당에 따른 기저효과로 배당지급이 줄면서 25억6000만달러 흑자를 나타냈다. 금융계정 순자산은 6월 중 467억1000만달러 증가해 월간 기준 역대 최대 증가 폭을 기록했다. 종전 최대였던 올해 3월(369억9000만달러)을 넘어선 것이다. 직접투자에서는 내국인의 해외투자가 80억1000만달러, 외국인의 국내투자가 46억3000만달러 각각 증가했다. 증권투자에서는 외국인의 국내 주식 매도세가 이어졌다. 외국인의 국내 주식 투자는 차익실현 매도 등의 영향으로 316억1000만달러 감소하며 전월(-310억5000만달러)에 이어 역대 최대 순매도 기록을 다시 경신했다. 외국인의 국내 채권투자는 세계국채지수(WGBI) 자금 유입에도 분기 말 만기도래 영향으로 증가 폭이 줄어든 52억9000만달러를 기록했다. 내국인의 해외 증권투자는 주식을 중심으로 35억6000만달러 증가했다. eoyn2@newspim.com 2026-08-06 08:00