[뉴스핌=김민정 기자] 테스는 가스 공급 플레이트 및 이를 포함하는 플라즈마 발생장치에 대한 특허권을 취득했다고 22일 공시했다.
회사측은 "이 특허 기술로 사다리형 전극의 형상이 증착막에 전사되는 것을 방지할 수 있고, 고주파수에서 선형전극부의 임피던스가 감소하게 돼 RF 파워의 전달 효율이 향상된다"고 설명했다.
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[뉴스핌 Newspim] 김민정 기자 (thesajah@newspim.com)












