[뉴스핌=황의영 기자] 테스는 8일 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 "이번 특허로 하나의 챔버 내에서 복수의 기판을 가열 및 냉각할 수 있어 작업처리량을 극대화할 수 있게 됐다"고 설명했다.
[뉴스핌 Newspim] 황의영 기자 (apex@newspim.com)
[뉴스핌=황의영 기자] 테스는 8일 기판처리장치에 대한 특허권을 취득했다고 공시했다.
회사 측은 "이번 특허로 하나의 챔버 내에서 복수의 기판을 가열 및 냉각할 수 있어 작업처리량을 극대화할 수 있게 됐다"고 설명했다.
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