여리인터내셔널이 최근 인수한 큐로스가 프랑스에 본사를 둔 다국적 기업 에어리퀴드의 일본 연구센타로부터 원자층증착장비(ALD) 물량을 수주 받았다.

여리는 25일 자회사인 원자층증착장비(ALD) 전문 자회사인 큐로스가 에어리퀴드 그룹의 일본연구센터에 연구개발용 ALD 장비를 납품했다고 밝혔다.

에어리퀴드 그룹은 프랑스에 본사를 두고 전세계적으로 7개의 R&D 센터를 보유하고 세계 72개국에 거점을 보유하고 있는 다국적 기업이다.

산업용과 의료용 가스와 관련 서비스분야에서는 세계에서 가장 큰 기업으로 알려졌으며 일본 연구센터는 반도체분야에 사용되는 가스와 화학물질에 대한 주력 연구 거점 단지이다.

여리 고위 관계자는 "자회사 큐로스의 ALD장비의 매출이 하반기들어 늘고 있다"며 "ALD기술은 최근에 여리가 참가한 미국 스탠포드 대학 주관의 '메탄올을 이용한 휴대용 연료전지개발 컨소시엄'에서도 핵심적인 기술"이라고 말했다.

특히 박막형 태양전지와 박막형 연료전지에서 필수적인 기술로서 향후 친환경에너지의 사용이 늘어남에 따라 매출이 급증할 것으로 기대된다고 강조했다.

한편 여리는 오는 26일 임시주주총회를 개최, 연료전지 전문가인 서울대 차석원 교수를 비롯한 사외이사들을 선임하고 사명을 베스트플로우(BestFlow) 로 변경할 계획이다.