[뉴스핌=정경환 기자] 테스는 트랙 타입 채택으로 세미뱃치 타입에 비해 기판 처리량이 개선된 '증착장치' 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허를 제품경쟁력 강화 및 신제품 개발에 활용할 계획"이라고 덧붙였다.
[뉴스핌 Newspim] 정경환 기자 (hoan@newspim.com)
[뉴스핌=정경환 기자] 테스는 트랙 타입 채택으로 세미뱃치 타입에 비해 기판 처리량이 개선된 '증착장치' 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.
회사 측은 "이번 특허를 제품경쟁력 강화 및 신제품 개발에 활용할 계획"이라고 덧붙였다.
[뉴스핌 Newspim] 정경환 기자 (hoan@newspim.com)
사진
사진