[뉴스핌=강필성 기자] LIG에이디피는 기판처리장치 및 이를 이용한 공정챔버의 유지방법 관련 특허를 취득했다고 30일 공시했다.
회사 측은 “디스플레이 패널 제조용 건식식각장비(Dry Etcher)의 경쟁력 강화”라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 강필성 기자 (feel@newspim.com)
[뉴스핌=강필성 기자] LIG에이디피는 기판처리장치 및 이를 이용한 공정챔버의 유지방법 관련 특허를 취득했다고 30일 공시했다.
회사 측은 “디스플레이 패널 제조용 건식식각장비(Dry Etcher)의 경쟁력 강화”라고 밝혔다.
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