[뉴스핌=이연춘 기자] 케이맥이 세계 최초로 개발해왔던 '반도체 공정용 극초박막 분석기기'가 현재 개발 단계를 완료해 테스트를 진행중인 것으로 확인됐다.

12일 케이맥 관계자는 "기술적인 부분에서는 이미 장비의 개발이 완료된 상태"라며 "현재는 장비의 기술적 부분과 안정성 검사 등을 위한 테스트과정을 거치고 있다"고 말했다.

이 관계자는 "상용화는 현재 진행중인 테스트 단계를 거쳐 문제점에 대한 보완 및 수정이 이뤄진 뒤 가능할 것"이라면서도 "조만간 이 또한 가능할 것"이라고 시점이 멀지 않았음을 시사했다.

케이맥은 지난해 말 서울대학교 산학협력단으로부터 MEIS 장치용 이온원 개발과 제품화에 관한 노하우를 이전 받는 계약을 체결했다.

이를 기반으로 케이맥은 세계 최초로 '반도체 공정용 극초박막 분석기기'의 개발을 진행했으며, 이 기술은 서울대가 보유하고 있는 '양의 바이어스 전극에 의한 인출부 주변 국부 방전을 이용한 고휘도 플라즈마 이온빔 발생장치' 특허를 이용해 제품의 성능이 대폭 향상됨은 물론 완성도 역시 한 층 높아질 것으로 기대되고 있다.

한편, 케이맥은 1996년 11월 설립됐으며, 지난 2011년 10월에 코스닥시장에 상장됐다.

FPD 및 반도체 공정상의 측정·분석기기, 바이오ㆍ의료진단기기 등을 주요사업으로 영위하고 있으며, 지난해에는 매출 371억원, 영업이익 73억원, 당기순이익 66억원을 기록했다.




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[뉴스핌 Newspim] 이연춘 기자 (lyc@newspim.com)