[뉴스핌=채애리 기자] 테스는 기판처리장치 특허권을 취득했다고 11일 공시했다.
회사 측은 이 장치에 대해 "기판에 대한 처리 공정이 정상적으로 수행되는지를 실시간으로 모니터링할 수 있으며 유량 측정부에 의해 수득된 유량 데이터를 이용해 샤워 헤드와 기판 사이의 간격이 조절될 수 있다"고 밝혔다.
▶글로벌 투자시대의 프리미엄 마켓정보 “뉴스핌 골드 클럽”
▶수익률대회 1위 전문가 3인이 진행하는 고수익 증권방송!
▶검증된 전문가들의 실시간 증권방송 `와이즈핌`
[뉴스핌 Newspim]채애리 기자 (chaeree@newspim.com)












