[뉴스핌=김민정 기자] 테스는 로드락 챔버 및 이를 이용한 기판 처리 방법에 관한 특허권을 취득했다고 25일 공시했다.
회사 관계자는 "이 기술을 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 기술 및 원가경쟁력 강화에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim]김민정 기자 (thesajah@newspim.com)