[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 초정밀 질량분석기 전문기업 '아스타'는 첨단 로봇 및 자동화 장비 전문기업 로봇앤드디자인과 반도체 분야 기술 개발을 위한 전략적 제휴를 체결했다고 19일 밝혔다. 이번 제휴의 일환으로 로봇앤드디자인은 아스타의 유상증자에 참여한다.

아스타 관계자는 "이번 증자 및 전략적 제휴는 아스타의 반도체 공정용 분석장비 사업 확대를 위한 최적의 파트너를 선정했다는 데 의미가 있다"고 설명했다.

양사는 이번 협력을 통해 반도체 공정 전반에서 요구되는 차세대 첨단 진단·분석 장비 개발을 공동으로 추진할 계획이다. 구체적으로는 증착 공정 중 발생하는 잔류가스를 초정밀로 분석하는 장비를 비롯해 스크러버에 장착해 강화되는 환경 규제에 대응할 수 있는 소형 측정 장비 등 다양한 신제품을 개발할 예정이다. 이를 통해 양사는 각자의 핵심 기술을 결합해 신규 성장 동력을 확보한다는 전략이다.

한편 아스타는 해외 반도체 기업과 TGA-TOF 장비 테스트 협의를 진행 중이며 이에 대응하기 위해 생산 능력 확대를 지속적으로 준비하고 있다고 회사 측은 밝혔다.

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