[뉴스핌=김지완 기자] 테스는 반도체 장비에 적용되는 기술인 플라즈마 처리장치 관련 특허를 취득했다고 12일 공시했다.
테스측은 "이 특허는 플라즈마의 밀도를 다르게 유지하거나 조절이 가능하다"면서 "또 기판의 일부 영역에서 플라즈마의 밀도를 다르게 유지할 경우 각 영역 내에서 밀도를 균일하게 유지할 수 있다"고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 김지완 기자 (swiss2pac@newspim.com)
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테스측은 "이 특허는 플라즈마의 밀도를 다르게 유지하거나 조절이 가능하다"면서 "또 기판의 일부 영역에서 플라즈마의 밀도를 다르게 유지할 경우 각 영역 내에서 밀도를 균일하게 유지할 수 있다"고 밝혔다.
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