[뉴스핌=우수연 기자] STS반도체는 '포토레지스트베이크' 장치와 관련한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
해당 특허권은 반도체 소자 제조 과정에서 광학적 방법으로 소자 또는 회로 패턴을 형성하는 공정이다. 회사 측은 "본 발명을 통해 반도체 범핑 공정의 핵심기술인 포토리소그래피 공정의 제조경쟁력을 극대화할 예정"이라고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 우수연 기자 (yesim@newspim.com)
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해당 특허권은 반도체 소자 제조 과정에서 광학적 방법으로 소자 또는 회로 패턴을 형성하는 공정이다. 회사 측은 "본 발명을 통해 반도체 범핑 공정의 핵심기술인 포토리소그래피 공정의 제조경쟁력을 극대화할 예정"이라고 밝혔다.
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