[뉴스핌=윤지혜 기자] 특수목적용 기계 제조업체인 에스엔유는 기판 고정 장치에 대한 특허를 취득했다고 11일 공시했다.
증착패턴의 정밀도를 향상시키기 위해서 마스크와 기판을 정밀하게 고정하여 증착장비의 생산성과 성능을 향상시키는 특허다.
같은 날 회사는 유도가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템에 대한 특허도 취득했다고 공시했다.
회사 측은 "해당 특허를 디스플레이 제조장비 등에 활용하겠다"고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 윤지혜 기자 (wisdom@newspim.com)












