[뉴스핌=강필성 기자] 에스엔유프리시젼은 태양 전지용 박막 급속 열처리 시스템 관련 특허를 취득했다고 28일 공시했다.
회사 측은 "태양 전지용 박막패널 제조시 급속 열처리 공정시 낭비되는 반응가스를 최소화시키는 시스템에 관한 특허"라며 "태양전지용 제조장비 등에 사용할 것"이라고 말했다.
[뉴스핌 Newspim] 강필성 기자 (feel@newspim.com)
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회사 측은 "태양 전지용 박막패널 제조시 급속 열처리 공정시 낭비되는 반응가스를 최소화시키는 시스템에 관한 특허"라며 "태양전지용 제조장비 등에 사용할 것"이라고 말했다.
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