[뉴스핌=김현기 기자] 테스는 신규 제품 개발시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화를 위해 트레이 및 이를 구비한 기판처리장치 특허를 취득했다고 28일 공시했다.
회사 측은 "기판의 이송시 위치가 이탈되는 것을 방지되며 기판의 처리시에는 기판의 가장자리까지 균일하게 처리할 수 있어 공정수행시 안정성을 향상시키는 효과를 볼 수 있다"고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 김현기 기자 (henrykim@newspim.com)
[뉴스핌=김현기 기자] 테스는 신규 제품 개발시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화를 위해 트레이 및 이를 구비한 기판처리장치 특허를 취득했다고 28일 공시했다.
회사 측은 "기판의 이송시 위치가 이탈되는 것을 방지되며 기판의 처리시에는 기판의 가장자리까지 균일하게 처리할 수 있어 공정수행시 안정성을 향상시키는 효과를 볼 수 있다"고 밝혔다.
[뉴스핌 Newspim] 김현기 기자 (henrykim@newspim.com)
사진
사진