[뉴스핌=김선엽 기자] 테스는 기판처리장치 특허를 취득했다고 6일 공시했다.
회사는 "본 특허로 기판을 가열하는 히터블럭의 온도가 손실되는 것을 방지할 수 있고 히터블럭의 유지보수를 용이하게 한다"고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim] 김선엽 기자 (sunup@newspim.com)
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