[뉴스핌=황의영 기자] 테스는 표면조도를 이용, 플라즈마 제어가 가능한 기판처리장치 관련 특허권을 취득했다고 4일 공시했다.
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[뉴스핌 Newspim] 황의영 기자 (apex@newspim.com)
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