이번 테스가 받은 기판처리장치 특허는 배플(baffle)의 설치높이, 경사방향 및 경사진 정도를 매우 용이하게 조절할 수 있어 기판에 박막이 균일하게 증착될 수 있는 최적의 가스흐름을 도출할 수 있다는 장점이 있다.
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[뉴스핌 Newspim]문형민 기자 (hyung13@newspim.com)












