[뉴스핌=신동진 기자] 주성엔지니어링은 6일 혼합형 플라즈마 발생 장치와 반도체 제조용 가스분사 장치에 대한 국내 특허를 취득했다고 공시했다.
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[뉴스핌 Newspim]신동진 기자 (sdjinny@newspim.com)
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