[뉴스핌=홍승훈기자] 오픈베이스(대표 송규헌)는 자회사인 ㈜나노베이스가 카메라를 이용한 입체형상 검사장치와 이를 포함한 검사시스템 및 그 검사방법과 관련한 내용으로 특허를 취득했다고 15일 밝혔다.

일반적으로 LED나 반도체 웨이퍼 등과 같은 물체를 측정할 경우, 아주 정밀한 측정이 요구되는데 기존에 사용하는 레이저를 사용한 측정방법은 해당 측정 대상물의 투명도에 따라 측정 결과의 편차가 커서 정밀한 측정이 어려웠다.

하지만 이번에 나노베이스가 특허 취득한 것은 카메라를 이용해 측정 대상물의 형상을 측정하고 불량 여부를 판단하는 검사시스템 및 그 방법에 관한 것.

파장 범위가 넓은 백색광을 이용해 빛을 반사하는 각도 내에서 측정 대상물을 조사하고 그 반사되는 빛을 고성능 카메라를 이용해 측정하는 방법이다.

회사측 관계자는 "이번 특허를 통해 반투명하거나 투명한 측정 대상물의 형상 검사가 가능하게 됐을 뿐 아니라 LED의 경우 형상 검사 속도가 향상, 측정값의 오차 범위를 감소시켜 보다 정밀한 검사를 가능해졌다"며 "LED 생산업체 쪽에서 뜨거운 관심을 불러일으킬 것으로 기대된다"고 전해왔다.