플라즈마 모니터링장치는 디스플레이, 반도체 및 차세대 태양광 제조공정 등에서 플라즈마를 이용하는 표면처리 공정에 적용되는 기술로써 플라즈마 방사상태를 실시간으로 모니터링해 최적의 방사상태를 유지할 수 있다.
에스엔유프리시젼은 이번 특허로 정밀한 LCD, OLED 및 차세대 태양광 제조공정장비에 사용할 예정이다.
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