기판 수납장치 재치대는 기판 수납 장치의 위치 가변장치 이동거리 제한 및 기판 수납 장치의 완충력 제공 등으로 공간축소의 특징이 있다.
평판표시소자제조장치의 공정챔버에 구비된 가스이동로 조절식 배플은 배플 내부와 가스이동로 변경으로 가스배출이 속도가 균일하게 이루어지는 특징이 있다.
플라즈마처리장치는 리프트 핀 승강에 따른 마모현상을 윤활제 도포로, 리프트핀 구멍의 기밀유지와 마모를 감소시킬수 있다.
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