[뉴스핌=최영수 기자] IT부품 제조업체 3S코리아(이하 '3S')의 신기술이 우수성을 인정받았다.

3S는 최근 개발한 웨이퍼 캐리어 FOUP(Front Opening Unified Pod, 공정내 웨이퍼 운송용기)에 적용되는 성능개선 기술이 한국산업기술진흥협회 신기술(NET)로 인증 받았다고 29일 밝혔다.

이번 기술은 FOUP 내부 잔류 가스를 빼내기 위해 질소를 투입하는 기존의 방법을 개선해 분산토출 유도로를 통해 신속하게 질소 충전이 가능하도록 개선했다.

이를 통해 기존 기술보다 30% 이상 시간이 단축됐으며, FOUP 청정도 향상으로 인해 불량이 감소하고 반도체 생산 효율성이 높아졌다.

NET 인증은 신기술의 상용화를 촉진시키기 위해 산업통상자원부 산하 기술표준원에서 발급하는 인증으로 인증제품에 대해서는 정부기술개발사업 신청시 우대 및 기술보증기금을 통한 기술금융지원등의 혜택이 주어진다.

3S 관계자는 “웨이퍼 캐리어 설계기술이 해외기술을 선도하는 단계에 접어들었다는 것을 공식적으로 인정받은 것"이라면서 "웨이퍼 캐리어 제조사로서의 입지를 확고히 할 수 있는 계기가 될 것"으로 기대했다.


[뉴스핌 Newspim] 최영수 기자 (dream@newspim.com)