[뉴스핌=김지나 기자] 주성엔지니어링은 2일 반도체 관련 기술 2건에 대해 특허권을 취득했다고 공시했다.
이번 특허권은 반도체 제조용 가스 분사 장치 및 가스 분사 방법, 포획장치 및 이를 이용한 반도체 소자 제조 장치 등이다.
회사측은 "이를 통해 회사의 반도체 사업 경쟁력 강화할 계획"이라고 말했다.
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[뉴스핌 Newspim] 김지나 기자 (fresh@newspim.com)
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이번 특허권은 반도체 제조용 가스 분사 장치 및 가스 분사 방법, 포획장치 및 이를 이용한 반도체 소자 제조 장치 등이다.
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