[뉴스핌=안보람 기자] 에스엔유프리시젼은 박막 증착 장치에 대한 특허를 취득했다고 16일 공시했다.
에스엔유프리시젼에 따르면 이 특허는 다수의 기판을 병행처리하고, 기판 및 증착 마스크의 배치/정렬 시간 등의 공정 대기 시간을 최소화해 높은 생산성을 달성할 수 있도록 한 장치 및 시스템이다.
회사는 "이 특허를 OLED 및 태양전지용 제조장비에 활용할 계획"이라고 밝혔다.
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[뉴스핌 Newspim]안보람 기자 (ggarggar@newspim.com)












