[뉴스핌=안보람기자] 주성엔지니어링은 9일 복수 기판 홀더 및 이를 장착한 챔버관련 특허를 취득했다고 공시했다.
주성엔지니어링은 이 특허를 반도체 사업의 경쟁력 강화에 활용할 계획이다.
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[뉴스핌 Newspim]안보람 기자 (ggarggar@newspim.com)
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