[뉴스핌=채애리기자] OCI머티리얼즈가 반도체와 LCD 제조공정에 필수적인 특수가스 NF₃(삼불화질소) 공급을 급격히 확대하고 있다.
23일 OCI머티리얼즈는 올해 초 2500톤/년 규모에 이르던 NF₃생산 설비를 11월 현재 4500톤/년 규모로 늘렸으며 내년 3월에는 5500톤/년으로 증설할 계획이라고 밝혔다. 이 규모는 올해 초에 비해 두배 이상 늘어난 규모다.
NF₃는 반도체, TFT-LCD 및 태양전지의 제조공정에서 사용되며 CVD 챔버(Chamber)내 증착공정 후 챔버 내부 벽의 잔류물을 제거하기 위해 주입하는 특수가스다.
이 특수가스는 OCI머티리얼즈의 주력 제품으로 매출의 상당부분을 차지하고 있다. 현재 4공장에서 양산이 이뤄지고 있다.
OCI머티리얼즈 관계자는 "NF₃를 양산하는 4 공장이 100% 가동되고 있을만큼 잘 팔리고 있다"며 "NF₃의 매출비중을 말할 수는 없지만 전체 매출의 상당부분을 차지하는 중요한 제품"이라고 설명했다.
특히 2012년에는 중국 강소성지역에서 1000톤/년 규모의 공장을 세울 계획이어서 NF₃에따른 매출 규모는 점차 증가될 전망이다.
LIG 투자증권 최도연 애널리스트는 "특수 가스 산업은 대규모 생산설비와 고도의 기술력이 필요해 진입장벽이 매우 높다"며 "AMOLED, 박막형 태양전지까지 특수가스 공급이 확대하고 있어 OCI머티리얼즈의 성장성이 높아지고 있다"고 말했다.
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[뉴스핌 Newspim]채애리 기자 (chaeree@newspim.com)












