[뉴스핌=김연순 기자]에스엔유프리시젼(대표이사 박희재)이 반도체 웨이퍼 등에 적용할 수 있는 이물검사 및 리페어 관련기술 특허를 취득했다고 밝혔다.

이 기술은 반도체 EDS 전 공정이나 EDS공정에 직접 포함돼 웨이퍼 상의 이물을 검사하고, 검출된 이물을 리페어할 수 있는 기술이다.

EDS(Electric Die Sorting)공정이란 반도체 제조공정 중 하나로, 반도체 칩의 불량여부를 판별하기 위해서 반도체 칩의 전기적 특성을 검사하는 공정을 의미한다.

이 회사 관계자는 "이 기술은 반도체 웨이퍼 뿐만 아니라, LCD, OLED 등의 패널 및 태양광 셀 제조공정상에서 제조비용절감, 제조장비손실 억제 및 공정수율을 향상시켜 단위당 생산성을 높이는 제조장비를 개발하는데 적용할 수 있을 것으로 보인다"고 설명했다.

한편, 에스엔유는 LCD외로 현재 반도체 및 OLED 등으로 사업다각화를 진행 중인 것으로 알려졌다.

회사관계자는 "반도체사업분야는 지난해 Nanometrics사로부터 반도체 웨이퍼의 측정시 적용되는 전자현미경 측정기술 전반을 인수해 2009년 In-Line Test를 목표로 순조롭게 진행 중이며, OLED는 계열회사인 에이엔에스를 통해서 진행 중"이라고 말했다.