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EUV 펠리클 1세대·2세대 개발 중
하반기 '극저온 칠러' 장비 양산 매출 기대
이 기사는 4월 25일 오전 12시50분 AI가 분석하는 투자서비스 '뉴스핌 라씨로'에 먼저 출고됐습니다.
[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 설비·소재업체 에프에스티(FST)가 올해 하반기 극자외선(EUV) 펠리클(Pellicle) 시제품 납품을 목표로 하고 있다.
최근 에프에스티의 펠리클 사업에 대한 시장의 관심이 쏠리고 있다. 에프에스티는 현재 EUV 펠리클 1세대·2세대를 모두 개발 중에 있다. 반도체 공정의 미세화·고집적화 추세로 EUV 도입이 점차 확대되면서 EUV 펠리클 국산화 성공에 따른 수혜 기업으로 떠오르고 있다.
에프에스티는 EUV 펠리클 양산에 속도를 내고 있다. 올해 초 약 190억 원 투자해 EUV펠리클 전용 공장을 착공하면서 내년 본격적인 양산이 전망된다.
에프에스티 관계자는 25일 "EUV펠리클 공장은 연내 시제품을 생산할 수 있는 파일럿 라인까기 구축해, 시제품을 납품할 수 있는 것을 목표로 한다'며 "목표이기에 변동성은 있을 것으로 본다. 아직은 반도체 사이클에서 신규 투자가 진행되고 있지는 않기 때문에 상황들을 지켜보고 있다"고 말했다.
펠리클은 회로가 새겨진 포토마스크를 보호하는 초박막 필름이다. 실리콘웨이퍼에 포토마스크를 올리고 빛을 쬐면 패턴이 형성된다. 이 과정에서 펠리클은 오염을 최소화해 포토마스크를 수차례 더 사용할 수 있도록 한다. EUV 공정에는 포토마스크 한 장이 수억원에 달하는 만큼, 펠리클로 포토마스크 수명을 연장하는 것이 필요하다. EUV 펠리클은 심자외선(DUV) 대비 강력한 노광 출력을 견딜 내구성을 갖춰야 하고, 90% 이상의 투과율 확보해 웨이퍼에 도달하는 에너지 손실이 최소화해야 한다. 현재 국내에서 EUV 펠리클 국산화 양산 개발은 에프에스티를 비롯해 에스앤에스텍이 주도하고 있다.
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| 에프에스티 로고. [로고=에프에스티] |
시장에서는 에프에스티의 EUV 펠리클 양산이 본격화되면, 실적에도 큰 폭의 성장이 있을 것으로 전망한다. 에프에스티는 불화아르곤(ArF) 및 ArF-i 전용 펠리클에서 약 80%의 시장점유율을 보유하고 있다. CTT리서치에 따르면 EUV 펠리클의 가격은 2000~3000만원 수준으로 ArF 펠리클 대비 50배를 넘는 고가다. EUV펠리클 신규 수요와 공급가를 장당 1000만원으로 가정하면 연간 1500억의 신규 매출이 발생할 것으로 보고 있다.
이나연 한국IR협의회 연구원은 "에프에스티는 1세대 펠리클은 삼성전자와 ASML 인증 테스트를 거쳐 연내 시양산을 목표하고 있다"며 "네덜란드의 반도체 장비기업 ASML은 2025년 하이(High)-NA EUV를 상용화할 예정이다. 에프에스티는 High-NA EUV에 필수적인 2세대 EUV 펠리클도 개발 중으로, 결과적으로 펠리클 수요 확대가 예상되는 가운데 에프에스티는 EUV 펠리클 국산화 성공에 따른 수혜가 전망된다"고 전했다.
또한, 에프에스티는 EUV 펠리클 관련 장비 개발도 우선적으로 완료했다. EUV 펠리클 EPMD(Euv Pellicle Mounter & Demounter), EUV 펠리클 및 EUV Pod 검사 장비 개발을 완료했으며, 지난해 국내 반도체 제조사 납품을 통해 EUV 펠리클 장비 관련한 매출도 발생하고 있다. 현재 EUV 마스크 패턴 검사기 'EMPIS'는 개발 중에 있다.
에프에스티의 주력제품은 반도체 생산장비 칠러(Chiller)와 반도체 소재 펠리클(Pellicle)다. 지난해 에프에스티는 칠러를 포함한 장비부문 매출액 1025억원(전체 매출액의 51%), 펠리클이 포함된 재료부문 매출액은 939억원(47%)를 차지했다.
하반기 에프에스티가 개발한 '극저온 칠러' 장비 양산도 본격화할 전망이다. 에프에스티의 주력 제품인 '칠러'는 반도체와 디스플레이 공정에서 장비(챔버)의 열을 제어하는 자동온도조절장치다. 현재 개발을 완료한 극저온 칠러는 전기식 칠러와 비교해 매우 영하의 온도를 유지할 수 있는 극저온 방식의 특징을 가지고 있다.
에프에스티 관계자는 "극저온 칠러는 일부 납품된 곳도 있고, 성능 개선 등이 진행되고 있는 고객사도 있다. 하반기에는 양산에 적용할 수 있는 정도로, 관련 매출 및 성장성을 긍정적으로 바라보고 있다"고 밝혔다.
최근 시장에서는 반도체 공정이 미세화 됨에 따라 초저온 칠러의 수요가 증가하고 있다. 또한 칠러 시장은 반도체 제조라인의 증설 투자뿐 아니라, 기존장비의 노후화에 따른 교체가 필요한 장비이므로 안정적인 매출을 달성할 수 있는 분야이기도 하다.
에프에스티는 ESG 정책이 강화되면서 이산화탄소(CO2)를 이용한 친환경, 저전력, 극저온 칠러, 작은 사이즈(Small Size) 칠러 개발도 지속하고 있다. 해외고객의 지속적인 수요와 고객사 다양화를 통해 칠러 시장에서의 입지를 넓혀가며 매출 확대를 전망한다.
nylee54@newspim.com
