[뉴스핌 라씨로] 에프에스티 "EUV 펠리클, 하반기 시제품 납품 목표"

기사입력 : 2024년05월01일 08:00

최종수정 : 2024년05월01일 08:00

EUV 펠리클 1세대·2세대 개발 중
하반기 '극저온 칠러' 장비 양산 매출 기대

이 기사는 4월 25일 오전 12시50분 AI가 분석하는 투자서비스 '뉴스핌 라씨로'에 먼저 출고됐습니다.

[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 반도체 설비·소재업체 에프에스티(FST)가 올해 하반기 극자외선(EUV) 펠리클(Pellicle) 시제품 납품을 목표로 하고 있다.

최근 에프에스티의 펠리클 사업에 대한 시장의 관심이 쏠리고 있다. 에프에스티는 현재 EUV 펠리클 1세대·2세대를 모두 개발 중에 있다. 반도체 공정의 미세화·고집적화 추세로 EUV 도입이 점차 확대되면서 EUV 펠리클 국산화 성공에 따른 수혜 기업으로 떠오르고 있다.

에프에스티는 EUV 펠리클 양산에 속도를 내고 있다. 올해 초 약 190억 원 투자해 EUV펠리클 전용 공장을 착공하면서 내년 본격적인 양산이 전망된다.

에프에스티 관계자는 25일 "EUV펠리클 공장은 연내 시제품을 생산할 수 있는 파일럿 라인까기 구축해, 시제품을 납품할 수 있는 것을 목표로 한다'며 "목표이기에 변동성은 있을 것으로 본다. 아직은 반도체 사이클에서 신규 투자가 진행되고 있지는 않기 때문에 상황들을 지켜보고 있다"고 말했다.

펠리클은 회로가 새겨진 포토마스크를 보호하는 초박막 필름이다. 실리콘웨이퍼에 포토마스크를 올리고 빛을 쬐면 패턴이 형성된다. 이 과정에서 펠리클은 오염을 최소화해 포토마스크를 수차례 더 사용할 수 있도록 한다. EUV 공정에는 포토마스크 한 장이 수억원에 달하는 만큼, 펠리클로 포토마스크 수명을 연장하는 것이 필요하다. EUV 펠리클은 심자외선(DUV) 대비 강력한 노광 출력을 견딜 내구성을 갖춰야 하고, 90% 이상의 투과율 확보해 웨이퍼에 도달하는 에너지 손실이 최소화해야 한다. 현재 국내에서 EUV 펠리클 국산화 양산 개발은 에프에스티를 비롯해 에스앤에스텍이 주도하고 있다.

시장에서는 에프에스티의 EUV 펠리클 양산이 본격화되면, 실적에도 큰 폭의 성장이 있을 것으로 전망한다. 에프에스티는 불화아르곤(ArF) 및 ArF-i 전용 펠리클에서 약 80%의 시장점유율을 보유하고 있다. CTT리서치에 따르면 EUV 펠리클의 가격은 2000~3000만원 수준으로 ArF 펠리클 대비 50배를 넘는 고가다. EUV펠리클 신규 수요와 공급가를 장당 1000만원으로 가정하면 연간 1500억의 신규 매출이 발생할 것으로 보고 있다.

이나연 한국IR협의회 연구원은 "에프에스티는 1세대 펠리클은 삼성전자와 ASML 인증 테스트를 거쳐 연내 시양산을 목표하고 있다"며 "네덜란드의 반도체 장비기업 ASML은 2025년 하이(High)-NA EUV를 상용화할 예정이다. 에프에스티는 High-NA EUV에 필수적인 2세대 EUV 펠리클도 개발 중으로, 결과적으로 펠리클 수요 확대가 예상되는 가운데 에프에스티는 EUV 펠리클 국산화 성공에 따른 수혜가 전망된다"고 전했다.

또한, 에프에스티는 EUV 펠리클 관련 장비 개발도 우선적으로 완료했다. EUV 펠리클 EPMD(Euv Pellicle Mounter & Demounter), EUV 펠리클 및 EUV Pod 검사 장비 개발을 완료했으며, 지난해 국내 반도체 제조사 납품을 통해 EUV 펠리클 장비 관련한 매출도 발생하고 있다. 현재 EUV 마스크 패턴 검사기 'EMPIS'는 개발 중에 있다.

에프에스티의 주력제품은 반도체 생산장비 칠러(Chiller)와 반도체 소재 펠리클(Pellicle)다. 지난해 에프에스티는 칠러를 포함한 장비부문 매출액 1025억원(전체 매출액의 51%), 펠리클이 포함된 재료부문 매출액은 939억원(47%)를 차지했다.

하반기 에프에스티가 개발한 '극저온 칠러' 장비 양산도 본격화할 전망이다. 에프에스티의 주력 제품인 '칠러'는 반도체와 디스플레이 공정에서 장비(챔버)의 열을 제어하는 자동온도조절장치다. 현재 개발을 완료한 극저온 칠러는 전기식 칠러와 비교해 매우 영하의 온도를 유지할 수 있는 극저온 방식의 특징을 가지고 있다.

에프에스티 관계자는 "극저온 칠러는 일부 납품된 곳도 있고, 성능 개선 등이 진행되고 있는 고객사도 있다. 하반기에는 양산에 적용할 수 있는 정도로, 관련 매출 및 성장성을 긍정적으로 바라보고 있다"고 밝혔다.

최근 시장에서는 반도체 공정이 미세화 됨에 따라 초저온 칠러의 수요가 증가하고 있다. 또한 칠러 시장은 반도체 제조라인의 증설 투자뿐 아니라, 기존장비의 노후화에 따른 교체가 필요한 장비이므로 안정적인 매출을 달성할 수 있는 분야이기도 하다.

에프에스티는 ESG 정책이 강화되면서 이산화탄소(CO2)를 이용한 친환경, 저전력, 극저온 칠러, 작은 사이즈(Small Size) 칠러 개발도 지속하고 있다. 해외고객의 지속적인 수요와 고객사 다양화를 통해 칠러 시장에서의 입지를 넓혀가며 매출 확대를 전망한다.

nylee54@newspim.com

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딥시크도 '자체 AI칩' 개발 추진 [서울=뉴스핌] 고인원 기자= 중국 인공지능(AI) 스타트업 딥시크(DeepSeek)가 자체 AI 반도체 개발에 나선 것으로 알려졌다. 그동안 AI 모델 학습과 운영에 사용해 온 엔비디아와 화웨이 반도체 의존도를 줄이기 위한 전략으로 풀이된다. 개발이 성공하면 중국 AI 대표 기업으로 떠오른 딥시크의 사업 전략이 크게 바뀌는 것은 물론, 중국 AI 반도체 시장에서 영향력을 키워온 화웨이에도 새로운 경쟁자가 등장하게 된다. 로이터 통신은 7일(현지시간) 사안에 정통한 복수의 관계자를 인용해 딥시크가 자체 AI 추론용(inference) 반도체를 개발하고 있다고 보도했다. 추론은 학습을 마친 AI 모델이 사용자의 질문에 답변을 생성하는 단계로, 새로운 모델을 학습시키는 훈련(training)용 반도체와는 용도가 다르다. [AI 이미지 = 배상희 기자] 소식이 전해진 뒤 미국 엔비디아(NASDAQ:NVDA)의 주가는 개장 전 거래에서 약 1.6% 하락했다. 리처드 윈저 라디오프리모바일 애널리스트는 "엔비디아는 중국 시장에서 사실상 퇴출된 상태이며, 앞으로도 상황이 달라질 가능성은 거의 없다"며 "딥시크도 최첨단 반도체 생산 능력을 확보하지 못하면 자체 AI 반도체를 중국 외 시장에 판매하기는 사실상 불가능하다"고 말했다. 그는 따라서 이번 딥시크의 반도체 개발이 엔비디아 실적에는 큰 영향을 주지 않을 것으로 내다봤다. 딥시크는 지난해 공개한 저비용·고효율 AI 모델이 세계적인 주목을 받으며 중국 AI 산업의 대표 기업으로 떠올랐다. 다만 그동안에는 기술 상용화보다 AI 모델 성능 개선에 집중해 온 것으로 알려졌다. ◆ 화웨이 의존 줄이고 자체 생태계 구축 미국의 대중국 수출 규제로 엔비디아의 최첨단 AI 반도체 공급이 막히면서 화웨이는 약 500억달러 규모의 중국 AI 반도체 시장에서 절반가량의 점유율을 확보했다. 딥시크를 비롯한 중국 주요 AI 기업들도 화웨이 반도체를 적극 활용해 왔다. 하지만 화웨이의 독주도 흔들리고 있다. 알리바바와 바이두가 자체 AI 반도체를 개발하며 시장 점유율을 확대하고 있는 데 이어 딥시크까지 경쟁에 뛰어든 것이다. 소식통들에 따르면 딥시크의 반도체 개발은 아직 초기 단계다. 회사는 반도체 설계업체와 파운드리, 메모리 업체 등과 협의를 진행하고 있으며 프로젝트는 약 1년 전 시작됐다. 최근에는 반도체 설계 엔지니어 채용도 확대했지만 공개 채용 사이트에는 공고를 내지 않고 비공개 방식으로 인력을 확보한 것으로 전해졌다. 딥시크는 이번 보도와 관련한 논평 요청에 응답하지 않았다. [AI 이미지 = 배상희 기자] ◆ AI 추론 시장 겨냥…오픈AI도 자체 칩 개발 딥시크의 전략은 글로벌 AI 기업들의 움직임과도 맞닿아 있다. 오픈AI는 지난달 브로드컴과 공동 개발한 첫 자체 추론용 AI 반도체 '할라페뇨(Jalapeno)'를 공개했고, 앤트로픽도 자체 AI 반도체 개발을 검토 중인 것으로 알려졌다. 딥시크에는 미국의 대중국 반도체 수출 규제도 중요한 배경이다. 미국은 중국 기업들이 엔비디아의 최첨단 AI 반도체를 구매하지 못하도록 막고 있으며, 중국 정부는 자국 기업들에 국산 AI 반도체 개발을 독려하고 있다. 딥시크 창업자인 량원펑은 2024년 중국 언론과의 인터뷰에서 미국의 반도체 수출 규제가 회사의 가장 큰 과제 중 하나라고 밝힌 바 있다. 딥시크는 초기에는 엔비디아 H800 반도체를 이용해 AI 모델을 학습시켰지만, 이후 화웨이 어센드(Ascend) 반도체 사용 비중을 꾸준히 늘려왔다. 지난 4월에는 화웨이 어센드에 최적화된 V4 모델을 공개했고, 화웨이는 V4-Flash 모델 학습에도 자사 반도체가 일부 사용됐다고 밝혔다. 이후 중국 대형 IT 기업들의 화웨이 어센드 950 반도체 주문도 크게 증가한 것으로 알려졌다. 딥시크가 개발 중인 추론용 반도체는 AI 산업에서 가장 빠르게 성장하는 시장을 겨냥한다. AI 서비스가 확산되면서 컴퓨팅 수요가 모델 학습보다 실제 서비스를 위한 추론 단계로 빠르게 이동하고 있기 때문이다. 추론용 반도체는 범용 GPU보다 가격이 저렴하고 전력 소비도 적다는 장점이 있다. 다만 성공을 장담하기는 어렵다. 경쟁력 있는 AI 반도체를 개발하려면 막대한 자금과 수년의 개발 기간이 필요하며, 미국의 수출 규제로 중국 기업들은 최첨단 해외 파운드리와 고대역폭메모리(HBM) 접근에도 제약을 받고 있다. 한편 딥시크는 최근 기업가치 520억~590억달러를 인정받는 조건으로 70억달러 규모의 첫 외부 투자 유치를 추진하고 있다. 수년간 외부 투자를 거부해 온 기존 전략을 바꾸는 첫 행보다. koinwon@newspim.com 2026-07-07 22:00