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[서울=뉴스핌] 배요한 기자 = 반도체 및 디스플레이용 장비 제조기업 비아트론이 레이저 광원(VCSEL, 수직 캐비티 표면 광방출 레이저)을 활용한 반도체 전공정 장비를 국내 주요 반도체 기업과 연구개발(R&D)을 진행 중인 것으로 확인됐다.
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1일 반도체 업계에 따르면 비아트론은 지난 4월부터 산업통상자원부가 지원하는 차세대지능형반도체기술개발(설계·제조) 과제를 수행하고 있다. 수행 기관에는 SK하이닉스와 화인파워엑스, 연세대학교 산학협력단이 포함돼 있다. 해당 과제명은 '기존장비 대비 200%의 고 생산성을 갖는 5m 이하의 반도체용 다층 SiSiGe 에피택시 장비 개발'로 디지털 제어방식의 광에너지 조사를 통해 높은 온도를 균일하게 유지할 수 있다는 점이 특징이다.
해당 연구 과제에 대한 기대 효과에는 '기존 장비 대비 10배 이상의 국부적인 온도제어 영역 적용으로 높은 온도의 균일도 달성과 급속 에피텍시 공정이 가능한 디지털 광에너지 제어 기술을 확보할 수 있다'고 기재돼 있다.
비아트론은 디스플레이 장비 매출 의존도를 낮추고 신성장동력을 확보하기 위해 지난 2020년 반도체 사업팀을 신설하고, 반도체 사업 총괄 부문에 SK하이닉스 출신 노재성 부사장을 영입했다. KAIST 재료공학과 박사를 취득한 노재성 부사장은 SK하이닉스 수석연구원과 주성엔지니어링 반도체사업 총괄 사장을 역임한 반도체 전문가다.
비아트론이 인재 영입 및 반도체 제조장비를 위한 연구개발을 본격화함에 따라 반도체 사업 부문이 향후 주요 매출원으로 자리매김할지 주목된다.
반도체 전문 시장조사업체 VLSI리서치에 따르면 올해 전세계 반도체 장비 매출 규모는 전년 대비 22% 성장한 1243억 달러(한화 약 161조원)를 기록할 것으로 예상됐다.
한편 비아트론은 디스플레이 패널의 전공정 기판 제조에 적용되는 열처리 장비(Flexible Display·AMOLED·LTPS LCD 열처리장비)를 생산하고 있으며, LG디스플레이, 삼성디스플레이, BOE, TIANMA 등의 고객사를 보유하고 있다. LTPS 공정에 적용되는 열처리 분야에선 글로벌 시장 점유율 1위를 기록했다.
yohan@newspim.com
