[뉴스핌=우수연 기자] 에스엔유는 증착용 자성체 검사장치 관련 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
특허 내용은 상향식 증착 환경에서 기판과 마스크를 정렬할 때 사용되는 자성체를 검사해 증착 성능을 향상 시키는 기술이다.
[뉴스핌 Newspim] 우수연 기자 (yesim@newspim.com)
[뉴스핌=우수연 기자] 에스엔유는 증착용 자성체 검사장치 관련 특허권을 취득했다고 9일 공시했다.
특허 내용은 상향식 증착 환경에서 기판과 마스크를 정렬할 때 사용되는 자성체를 검사해 증착 성능을 향상 시키는 기술이다.
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