[뉴스핌=이수호 기자] 테스는 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 8일 공시했다.
박막증착장치는 증착 공정을 수행하는 내부 환경을 보다 균일하게 유지해 기판에 증착되는 박막의 품질을 균일하게 유지해준다. 또한 도어장치가 반응가스에 의해 영향 받는 것을 방지해 도어장치의 수명을 늘려줘 유지보수가 용이해진다.
또한 테스는 플라즈마 발생장치 및 이를 포함하는 박막증착장치에 대한 특허권을 취득했다고 같은날 공시했다.
이 장치는 플라즈마를 공급함으로써 처리될 기판의 대면적화가 용이하며 효과적인 박막증착을 수행할 수 있게 한다.
회사 측은 "신규 제품 개발시 특허기술 적용을 통해 제품경쟁력을 강화할 것이다"고 말했다.
[뉴스핌 Newspim] 이수호 기자 (lsh5998688@newspim.com)












