[뉴스핌=정경환 기자] 에스엔유프리시전은 기판 처리 장치 및 스퍼터링 장치 특허권을 취득했다고 13일 공시했다.
회사 관계자는 "이번 특허를 OLED 및 태양광 제조장비에 활용할 것"이라고 말했다.
[뉴스핌 Newspim] 정경환 기자 (hoan@newspim.com)
[뉴스핌=정경환 기자] 에스엔유프리시전은 기판 처리 장치 및 스퍼터링 장치 특허권을 취득했다고 13일 공시했다.
회사 관계자는 "이번 특허를 OLED 및 태양광 제조장비에 활용할 것"이라고 말했다.
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