[뉴스핌=서영준 기자] 주성엔지니어링은 박막 제조용 가스 분사 장치 및 이를 포함하는 박막 제조장치 관련 특허권은 취득했다고 19일 공시했다.
이와 함께 증착 원료 공급 장치 및 이를 구비하는 박막 증착 시스템 관련 특허권도 획득했다.
회사 측은 "당사 반도체 및 OLED 사업 경쟁력 강화에활용할 계획"이라고 설명했다.
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[뉴스핌 Newspim] 서영준 기자 (wind0901@newspim.com)












