[뉴스핌=노희준 기자] 비아이이엠티는 공정가스 분리 공급형 대기압 플라즈마 장치 관련 특허권을 취득했다고 14일 공시했다.
회사측은 "플라즈마 발생가스와 공정가스를 분리해 플라즈마 발생 및 안정성을 향상시켜 공급하는 공정가스 분리 공급형 대기압 플라즈마 장치 및 그 사용방법에 관한 것"이라고 말했다.
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[뉴스핌 Newspim] 노희준 기자 (gurazip@newspim.com)
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회사측은 "플라즈마 발생가스와 공정가스를 분리해 플라즈마 발생 및 안정성을 향상시켜 공급하는 공정가스 분리 공급형 대기압 플라즈마 장치 및 그 사용방법에 관한 것"이라고 말했다.
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