위지트, 가스분사장치 제조 관련 기술 특허 취득

기사입력 : 2011년11월10일 15:00

최종수정 : 1970년01월01일 09:00

[뉴스핌=김지나 기자] 위지트는 10일 반도체 제조공정에 사용되는 가스분사장치 제조 방법에 관련한 특허권을 취득했다고 공시했다.

이번 발명은 기존 방법과는 달리 공정 사용 중 외력에 의한 가스분사 장치의 변형을 억제해 제품 신뢰성 저하문제를 해소해 제조단가를 낮출 수 있게 됐다고 회사측은 설명했다.

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[뉴스핌 Newspim] 김지나 기자 (fresh@newspim.com)

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