[뉴스핌=홍승훈기자] 단성일렉트론이 LCD용 ESC 국산화에 이어 반도체 장비용 ESC 자체 개발에 성공하며 반도체 소모성부품 시장 진출에 박차를 가하고 있다.

단성일렉트론(대표이사 이현규)은 LCD 장비용 ESC(정전척; Electro Static Chuck) 제작 공정인 스프레이 코팅 타입을 적용해 반도체 장비용 ESC 개발에 성공했다고 23일 밝혔다. LCD용 ESC는 지난 2006년 단성일렉트론이 국내 첫 국산화에 성공한 바 있다.

ESC는 LCD와 반도체 공정에서 정전기를 이용해 기판과 전극 사이에 간격을 일정하게 유지하도록 하는 전극이다. 반도체 공정의 경우 장비 내부에서 정전기를 이용해 반도체 웨이퍼와 하부전극 사이의 간격을 일정하게 유지하는 소모성 부품으로 고부가가치 제품에 속한다.

단성일렉트론은 향후 기술평가와 성능평가, 반도체 장비 장착평가 등을 거쳐 오는 2009년부터 제품 양산에 들어갈 방침이다.

회사측 관계자는 "반도체용 ESC의 세계 시장 규모는 7000억 원대로 LCD 시장에 비해 큰 편"이라며 "국내 시장 규모도 2000억 원을 넘어선다"고 전했다.

이 관계자는 이어 “이전까지 전량 수입에 의존했던 LCD장비용 ESC를 개발한 경험과 노하우로 반도체용 ESC 사업에서도 빠른 시장 진입을 기대하고 있다"며 "기존의 반도체 세정 사업을 확대해 반도체 소모성 부품 시장에 적극 진출할 것”이라고 밝혔다.