마성재 여리인터내셔널 사장은 5일 "최근 인수한 큐로스가 보유한 반도체 전공정의 핵심장비인 원자층 증착장비(ALD)를 기반으로 태양전지사업 진출을 검토하고 있다"라고 밝혔다.

앞서 여리는 지난달 21일 반도체 장비업체인 큐로스 주식 34만1854주(45.16%)를 121억5000만원에 인수한 상태다.

큐로스는 반도체 전공정의 핵심 장비인 원자층 증착장비(ALD-Atomic Layer Deposition)과 화학기상 증착장비(CVD-Chemical Vapor Deposition)를 자체 개발해 제작 판매를 하는 반도체 장비업체다.

마 사장은 "큐로스의 7년여 장비 기술개발을 토대로 삼성종합기술원과 하이닉스 삼성전기 국가지정 나노기술센타 등에 장비를 납품한 실적을 갖고 추후 차세대 반도체 메모리 소자와 로직(Logic)소자 제작에 필수적인 장비의 양산화에 주력하고 있다"고 말했다.

특히 그는 최근 부각받고 있는 태양전지 사업에서 큐로스가 보유한 원천기술 ALD기술을 응용할 경우 다양한 방식의 태양전지개발도 가능하다고 강조했다.

마 사장은 "반도체장비 개발에서 얻은 기술을 향후 신수종 사업으로 떠오르는 박막형 태양전지개발과 차세대 연료전지 개발로의 적용에 적극적으로 연구개발을 진행하고 있다"며 "박막 전지개발 장비 1호기를 서울대에 납품한 상태로 미국 연구소로의 수주에 적극적인 영업활동을 진행하고 있다"고 설명했다.

이를 위해 여리는 미국 유명대학과 국내 대기업이 참여하는 프로젝트를 진행하는 것으로 전해졌다.

이와함께 마 사장은 "동부하이텍과 국책과제인 TND (테라급 나노소자 개발) 사업을 공동으로 수행하고 있다"며 "올해 하반기 동부하이텍에 ALD장비의 납품 계획을 목표로 공동개발을 진행하고 있다"고 덧붙였다.

한편 큐로스는 반도체 장비개발 국산화에 10여년 이상의 경험을 가진 엔지니어들을 주축으로 구성되어 있으며 서울대 교수 및 포항공대 교수 등 반도체 및 박막전지 분야의 전문가를 사외이사로 포진해 장비의 상용화에 주력하고 있다.