에이디피, 반도체 제조용 플라즈마 이온 주입장비 개발완료 '올 8월말'

기사입력 : 2007년01월19일 15:11

최종수정 : 2007년01월19일 15:11

에이디피엔지니어링은 19일 '300mm 웨이퍼용 공정 장비를 목표로 반도체 제조용 플라즈마 이온 주입장비 개발에 성공, 시제품 테스트설'과 관련, "오는 8월말 경 개발이 끝날 예정이다"라고 설명했다.

(이 기사는 19일 오후 2시3분 유료기사로 송고됐습니다)

에이디피 관계자는 "지난 2005년 9월부터 국책사업으로 개발을 진행 중이다"라며 "상용화 시기는 전방산업 업체들과의 협의 문제로 공식적으로 밝히기 곤란하다"고 말했다.

이 관계자는 "전 세계적인 이온 장비 시장은 2004년 기준 7억달러 규모"라며 "아직 국산화가 이뤄지지 않아 전량 수입에 의존하고 있는 제품"이라고 전했다.

또 그는 "우리가 개발하고 있는 장비는 기존 빔 공정장비와는 다른 플라즈마 장비"라며 "기존 제품을 대체하는 시장외에도 응용분야로 확대될 전망"이라고 덧붙였다.

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