[서울=뉴스핌] 양태훈 기자 = 종합 첨단장비 제조기업 아바코가 아바텍과 협력해 차세대 반도체 패키징용 유리기판의 유리관통전극(TGV) 공정을 검증하기 위한 515×510mm 파일럿 라인 운영을 시작했다고 11일 밝혔다.

양사는 파일럿 라인을 통해 TGV 레이저 가공부터 식각, 시드 레이어 증착, 광학 검사까지 이어지는 공정을 연계하고 개별 장비 성능과 공정 간 연계성, 반복 생산 과정의 품질 안정성을 검증할 계획이다.

아바코와 아바텍은 주요 유리 소재 업체들과 비밀유지계약(NDA) 및 공급 협력을 진행해 다양한 유리 소재를 확보했다. 이를 기반으로 2026년 상반기 기준 515×510mm 규격의 TGV 공정 개발을 위한 기초 인프라 구축을 완료했다.

TGV 유리기판 제조에는 유리 소재 공급과 함께 레이저를 이용한 비아 형성, 식각, 금속층 증착, 검사 등의 공정이 필요하다. 아바코는 관련 장비 개발을, 아바텍은 유리 식각·박막 공정에서 축적한 양산 경험을 바탕으로 파일럿 라인의 공정 운영과 안정성 검증을 담당한다.

아바코는 2023년부터 TGV 장비와 공정기술 개발에 연구개발 인력과 자원을 투입해 왔다.

회사의 2세대 TGV 레이저 가공 장비 'AXIUM AP-250K'는 초당 약 1만홀의 가공 속도와 듀얼 광학 헤드를 적용해 대면적 유리 패널을 가공하도록 설계됐다. 회사에 따르면 장비의 공차 제어 수준은 ±5㎛ 이하다.

레이저 가공 이후 공정을 위한 알칼리계 식각액 기반의 식각 기술과 시드 레이어 증착 장비도 확보했다. 아바코는 물리적기상증착(PVD) 공정과 하이브리드 방식을 활용해 고종횡비 TGV 내부 형상과 금속층을 형성하는 공정기술을 개발하고 있다.

최근에는 레이저 가공과 식각, 증착 과정에서 발생하는 결함을 검출하기 위한 광학 검사장비도 확보했다. 해당 장비는 TGV 홀의 형상과 가공 품질을 전수 검사하고 자동화 라인과 연계할 수 있도록 개발됐다.

아바코는 이를 활용해 TGV 레이저 가공부터 식각, 시드 레이어 증착, 광학 검사까지 연결하는 공정 검증을 진행할 예정이다.

아바텍은 디스플레이용 유리 식각과 박막 공정에서 축적한 양산 경험을 바탕으로 실제 양산 환경을 고려한 공정 운영과 안정성 검증을 담당한다.

양사는 1차적으로 2026년 안에 레이저 가공부터 시드 레이어 증착까지 적용한 TGV 유리기판 샘플을 제공하는 것을 목표로 하고 있다. 제공할 샘플 크기는 100×100mm에서 최대 515×510mm까지다.

2027년부터는 레이저 가공과 식각, 증착뿐 아니라 비아 충진과 평탄화까지 적용한 메탈라이제이션 완료 샘플을 제공할 계획이다.

현재 해외 복수 고객사와 기술·양산 관련 협의도 진행하고 있다. 파일럿 라인을 통해 장비와 공정을 검증한 뒤 아바코는 TGV 장비 영업을 확대하고, 아바텍은 식각과 공정 운영 경험을 기반으로 유리기판 사업화를 추진할 예정이다.

양사는 파일럿 라인에서 제작한 샘플을 국내외 고객사에 제공해 공정 평가와 기술 협력을 진행할 계획이다. 이를 통해 유리기판 상용화에 필요한 생산성과 공정 안정성, 품질관리 기준도 검증할 방침이다.

아바코 관계자는 "유리기판 시장에 진입하기 위해서는 개별 장비 개발을 넘어 전체 공정을 연계해 검증할 수 있는 기반이 필요하다"며 "아바텍과의 협력을 통해 장비와 공정, 양산 운영 경험을 연결하고 고객사가 요구하는 양산 제품을 제공할 수 있는 TGV 통합 솔루션을 구축해 나가겠다"고 말했다.

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