[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 주사전자현미경(SEM) 전문기업 코셈이 대기압 환경에서 고해상도 분석을 구현하는 핵심 기술에 대해 일본 특허청으로부터 특허 등록을 완료했다고 27일 밝혔다.

이날 코셈은 '대기압 전자현미경용 전도성 초박막 2차 전자 검출기' 기술이 일본 특허청(JPO)의 심사를 거쳐 최종 등록됐다고 설명했다. 국내 선출원을 기초로 일본에 출원한 이 기술은 오는 2045년 5월 12일까지 일본에서 독점적 권리를 행사할 수 있다.

회사에 따르면 본 특허는 그래핀 등 전도성 초박막을 활용해 전자 신호를 효율적으로 검출할 수 있는 2차 전자 검출기 기술이다. 대기압 환경에서는 공기 분자와의 충돌로 전자 신호가 약해지는데, 이 기술을 적용하면 전자 신호 손실을 최소화해 대기압 환경에서도 진공 환경에 준하는 고해상도 이미지 구현이 가능하다.

대기압 전자현미경은 시료를 별도의 진공 처리 없이 관찰할 수 있어 바이오·의료 분야를 비롯해 반도체와 이차전지 생산 공정 등 다양한 산업에 활용되고 있다. 일본은 히타치하이테크, 제올 등 세계적인 주사전자현미경 기업들이 포진한 시장이다.

이준희 대표이사는 "엄격한 특허 심사 기준을 적용하는 일본에서 독자적인 기술 권리를 확보했다는 점에서 의미가 크다"며 "국내 특허에 이어 일본 특허까지 확보한 만큼, 이를 기반으로 차세대 대기압 SEM 제품군의 기술 경쟁력을 강화하고 글로벌 시장 공략을 확대해 나가겠다"고 말했다.

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