[서울=뉴스핌] 이나영 기자= 첨단산업 종합장비기업 아바코가 차세대 디스플레이 및 에너지 소자용 '로우 데미지 스퍼터' 기술의 상용화를 확대하고 있다고 15일 밝혔다.

아바코는 전자 사이클로트론 공명(ECR) 플라즈마 기반 스퍼터 기술을 적용한 차세대 스퍼터 장비의 검증을 완료했으며, OLED 및 페로브스카이트 태양전지(PSC) 용 전극 공정 시장 공략을 강화 중이다.

기존 스퍼터 공정은 높은 방전 전압으로 인해 고에너지 산소 음이온이 박막 표면에 충돌하면서 OLED 유기층과 페로브스카이트 흡수층 손상을 유발했다. 이러한 공정 손상은 소자 효율 저하와 수명 감소로 이어져 차세대 소자 양산의 주요 과제로 지적돼 왔다.

회사에 따르면 아바코는 국내 주요 연구기관과의 공동 연구를 통해 DC 전원에 2.45GHz 마이크로파를 결합한 ECR 플라즈마 기술을 개발했다. 이 기술 적용 시 공정 방전 전압은 기존 250~400V 수준에서 150~250V 수준으로 낮아졌으며, 열과 충격에 민감한 OLED 유기막과 페로브스카이트 구조에도 안정적으로 전극층 증착이 가능하다.

또한 기존 스퍼터 대비 낮은 압력 환경에서 공정이 가능해 입자의 평균자유행로가 증가하면서 보다 균일한 박막 형성과 고밀도 전극 구현이 가능해졌다.

아바코의 내부 테스트 결과 해당 기술이 적용된 인듐갈륨아연산화물(IGZO) 박막은 표면 거칠기가 크게 개선됐으며, 박막 밀도와 균일성도 향상된 것으로 나타났다. 특히 OLED 유기물 손상 평가에서는 포토루미네선스(PL) 강도 감소율을 기존 대비 크게 낮춰 저손상 공정 구현 가능성을 확인했다.

아바코는 기술 개발 이후 CSOT를 포함한 다수의 고객사에 장비를 공급하며 로우 데미지 스퍼터 기술의 차세대 OLED 공정 적용 가능성을 확인했다. 회사는 하반기부터 글로벌 패널 제조사의 투자 및 수요에 따라 수주가 확대될 것으로 기대하고 있으며, 차세대 OLED 대면적 상부 전극 공정과 고효율 페로브스카이트 태양전지용 투명전극(TCO) 형성 공정 등에 이 기술이 적용될 것으로 예상하고 있다.

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